燃燒式 Local Scrubber
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BurnWet 燃燒水洗式scrubber
https://www.das-ee.com
Gas Scrubber (燃燒/水洗)提供高彈性與客製化應用，可處理幾乎所有製程廢氣，版圖涵蓋半導體與太陽能產業，廠務需求並可視需求調整。 更多資訊 ...
IPI Local Scrubber 臺禹旭禹製程廢氣處理設備
https://www.ipi-tbc.com.tw
燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒， 反應成粉末 ...
區域洗滌設備異常事件失誤模式探討
https://ir.nctu.edu.tw
燃燒式區域洗滌設備（Local scrubber）應必需要具備安全連鎖設計，如壓力過高之. 連動功能。且應使用即使設備失效也能安全(Fail Safe)的安全連鎖裝置。當安全連鎖作動. 時 ...
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
https://www.das-ee.com
高溫分解 ... 製程廢氣將於系統中的分解區燃燒（可視需求添加燃氣）。依廢氣不同的組成，在燃燒時會產生不同的反應，例如氧化作用、還原反應或高溫分解。
晶圓製程機台裝設燃燒水洗式尾氣處理設備專案計畫書
https://ghgregistry.moenv.gov.
執行本專案所購置之燃燒式尾氣處理設備(Local Scrubber, LS)及儀控設備安裝、. 管線施工及維護操作費用等，全數由本公司自行負擔，並無接受任何政府計畫之資. 金援助 ...
水洗電熱水洗式廢氣處理機
http://www.osc-tw.com
最新款電熱水洗式廢氣處理機為高端半導體製程廢氣的處理系統，有高溫電熱式腔体，將製程所產生的廢氣，利用特殊設計的一個反應室，反應成粉末或是反應成溶解於水中的 ...
燃燒水洗式廢氣處理機
http://www.osc-tw.com
燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒， 反應成 ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
https://ir.nctu.edu.tw
台灣所使用之Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可. 分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等，端視使用者的需求而.